SID2400 – INTELLIGENTE SENSOREN FÜR DIE PLASMABESCHICHTUNG

Wir freuen uns, Ihnen SID2400 vorstellen zu können, ein innovatives drahtloses Sensorsystem für die In-situ-Temperaturüberwachung Ihrer Plasmaprozesse. Mit SID2400 können Sie die Temperatur genau dort messen, wo es darauf ankommt: direkt auf dem Substrat!

Die Sensoren können an jedes rotierende Objekt innerhalb Ihrer Plasmakammer angeschlossen und drahtlos abgefragt werden, ohne störende Kabel oder komplexe Schleifringe. Das sehr kompakte und modulare Design des SID2400 ermöglicht den Einsatz in jeder Art und Geometrie von Plasmakammern, auch als Nachrüstung in bestehenden Anlagen. Im Gegensatz zu herkömmlichen Temperaturmarkern erhalten Sie Ihre Temperaturinformationen direkt während des Prozesses, so dass Sie Ihre Prozesse an Ihre Bedürfnisse anpassen können.

Der SID2400 basiert auf unserer patentierten 2,4 GHz Surface Acoustic Wave (SAW) Breitbandtranspondertechnologie und bietet höchste Zuverlässigkeit und Präzision. Das Messsystem ist extrem robust, gegen elektrostatische Entladung (ESD) geschützt und verfügt über eine ausgezeichnete elektromagnetische Verträglichkeit (EMV).

Als führender Anbieter von passiven und drahtlosen SAW-Sensorsystemen laden wir Sie ein, die neuesten Fortschritte bei der Überwachung von Plasmakammertemperaturen zu entdecken und zu erfahren, wie das SID2400 die Prozesssteuerung und -effizienz verbessern kann. Werfen Sie einen Blick in die Zukunft der Plasmatemperaturmessung mit dem Smart Plasma Sensorsystem SID2400 von sensideon. Setzen Sie sich noch heute mit uns in Verbindung, um weitere Details zu erfahren und eine persönliche Präsentation unserer innovativen Lösung zu vereinbaren!

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